气体质量流量计(MFM)

  • 量程范围

    0.5SCCM~5000SLPM
  • 准确度

    ±0.5~1.0%Rd
  • 工作压力

    5kPaA~2MPaA可选
  • 介质温度

    -20℃~60℃
气体质量流量计(MFM)

产品规格

系列S100
S200S300S400S450
量程范围20SCCM~1000SLPM5SCCM~1000SLPM0.5SCCM~5000SLPM2SCCM~2000SLPM2SCCM~2000SLPM

准确度

±1.0%F.S. (2%~100% F.S.)

±1.0%Rd(30%~±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%~30%F.S.)

±1.0%Rd(20%~100%F.S.
 ±0.2%F.S.(0.5%~20%F.S.)

±1.0%Rd(10%~100%F.S.)
±0.1%F.S.(0.5%~10%F.S.)

±0.5%Rd(20%~100%F.S.)
±0.1%F.S.(0.5%~20%F.S.)

重复精度±0.2%F.S.

±0.2%Rd

±0.1%Rd

压力漂移

Zero:≤±0.1%F.S./100kPa;
Span:≤±0.1%F.S./100kPa(基准压力100kPaA);

Zero:≤±0.05%F.S./100kPa;
Span:≤±0.05%F.S./100kPa(基准压力100kPaA);

温度漂移

Zero:≤±0.05%F.S./℃;
Span:≤±0.05%F.S./℃(基准温度25℃);

≤±0.02%F.S./℃(基准温度25℃)
零点漂移±0.2%F.S./年±0.1%F.S./年
工作范围
2%~100%F.S.1%~100%F.S.0.5%~100%F.S.
响应时间
≤100ms
启动预热时间
≤1s
介质温度范围0℃~50℃-20℃~60℃
环境温度范围-20℃~50℃
最小工作压差

10kPa(≤5SLPM);6kPa(10SLPM);8kPa(20~50SLPM);10kPa(100SLPM);15kPa(200SLPM);

19kPa(500SLPM);23kPa(1000SLPM);22kPa(1500~2500SLPM);35kPa(3000~5000SLPM)

耐压1.5 MPaA
最大工作压力900kPaA
漏率≤1×10-10 Pa·m³/s He
供电电压24VDC(±20%)
安装方式无指定(任意角度)
气路接口G螺纹、VCR、卡套
接气部材质SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene
密封部材质橡胶圈密封:FKM、FFKM、EPDM、Neoprene
通信方式RS485、4~20mA 、0~5V、0~10V
*此为标准款参数,可定制高压型、高温型、低温型、宽量程型、快速响应型、抗吸附型等各种定制化方案,请联系我们 400-881-5356


气体质量流量计(MFM)

应用场景

高校研究所及实验室

环境分析中的气体测量

分析/环保设备

气体泄漏检测系统

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