质量流量计/质量流量控制器常用术语有哪些，它们各代表什么含义？

一 流量术语

体积流量：也叫工况流量，即单位时间内实时温度和压力下流体流过管道横截面的体积。小流量的代表单位一般为：ml/min和L/min。

标况流量：通过温度、压力补偿后得到的体积流量。标况一般定义（1）压力：1个大气压（101.325KPa）（2）温度：0℃/15℃/20℃/25℃，具体温度定义可自选。易度流量控制器默认(25℃,101.325KPa)，单位一般为：SCCM和SLPM 。

质量流量：单位时间内流体流过管道横截面的质量 。易度质量流量控制器测量出的是标况流量，需要计算气体实际质量时，可用密度乘以标况流量即可得出。

瞬时流量：当时间很短时，流体流过一定截面的量称为瞬时流量。

累计流量：气体通过某一截面的瞬时流量在一定时间内的累积值。

设定流量：质量流量控制器专用术语，MFC通过控制比例调节阀的开度使得流体流量稳定在某一固定流量值，设定流量一般为标况流量。

二 工况术语

工作温度：包括被测介质温度和使用环境温度。易度质量流量控制器适用温度范围为：-50℃到110℃（介质）。

工作压力：指流经质量流量计/质量流量控制器时，被测气体的绝对静压。易度质量流量控制器适用工作压力一般为1MPa以下，最大不能超过3MPa。压力单位一般为：MPa、KPa、

Pa、Psi，易度产品可自如切换。

耐压：质量流量计/质量流量控制器在不损坏的情况下所能承受的最大压力，易度质量流量控制器一般可承受的压力为1MPa,最大2.5MPa。

压差：气体流经管路高压端与低压端的压强差。

压损：气体流经质量流量计/质量流量控制器而产生的不可恢复的压力降。易度质量流量计标准型号压损为4KPa,最小可达400Pa。

预热时间：主要针对热式质量流量控制器，是指加热金属丝达到温度稳定的时间。易度质量流量控制器无需预热，可直接使用。

通讯方式：质量流量计/质量流量控制器与配套设备控制系统之间的通讯，常用的有模拟信号和数字信号。易度质量流量计/质量流量控制器通讯方式可选：模拟信号(4-20)mA、(0-5)V，数字信号RS485、Profibus等。

管路连接：质量流量计/质量流量控制器与管路的连接方式，根据管路材质（软管、金属硬管等）和管路内外径尺寸，可选卡套接头、VCR接头、快插接头、快拧接头等。

介质：被测气体的种类，易度质量流量计/质量流量控制器可测量单一纯净气体，或明确气体种类和比例的混合气体。若为强腐蚀气体，建议选用耐腐蚀型号。若为易燃易爆气体，建议选用防爆型号。

三 性能术语

量程：质量流量计/质量流量控制器可测得的最大流量，易度质量流量控制器量程范围：从0.5sccm到5000slpm。

量程比：质量流量计/质量流量控制器能够测量控制的最大流量和最小流量比值，易度质量流量控制器标准型量程比为100:1，也可定制更宽量程比。

精度：质量流量计/质量流量控制器测得的标况流量显示值与标准装置流量值的误差比。易度质量流量控制器的精度为±1%S.P(设定值精度），最高可达±0.5%S.P(设定值精度）。

精度保证范围：保证质量流量计/质量流量控制器精度的气体流量范围，易度质量流量控制器标准型号为：20%-100%F.S（满量程），宽量程型可达10%-100%F.S（满量程）。

重复性：在同一工作条件下，质量流量计/质量流量控制器对同一输入值按同一方向连续多次测量的输出之间的相互一致程度，也叫重复性误差，易度质量流量控制器重复性可达±0.2%/F.S(满量程）。

可靠性：质量流量计/质量流量控制器在一定时间内、在一定条件下无故障地执行指定功能的能力或可能性。

响应时间：质量流量计/质量流量控制器接通电源后至其达到规定性能指标所需的时间，易度质量流量控制器具有毫秒级响应速度。

抗电磁干扰：电磁干扰是干扰电缆信号并降低信号完好性的现象，会造成流量计精度损失，特别是射频电源对模拟信号的干扰现象尤为明显，易度质量流量控制器抗电磁干扰能力强，经西安高压电器研究所抗电磁干扰检测认证