2023 / 12 / 12
气体质量流量控制器是配气仪中的核心部件，可提供精确、稳定的气体流量控制，让气体混合、稀释更便捷。
易度MC100标准型质量流量控制器采用层流压差式原理，具有高可靠、高稳定、高精度和高重复性的优势，同时在抗过载能力和抗污染能力上表现优越，助力配气仪厂商实现更精准的气体浓度混合配比。
应用要求：
配气仪的气体配比通常为100:1等，常见的有两路甚至更多，一般两路为一路标气，一路稀释气体。要实现精准配气，需要流量控制器在各流量点控制气体准确度高，重复性好，同时对压力波动不敏感。
常见配气仪气体配比图
主要问题：
1、控制稳定：配气仪受前端压力波动影响大，影响流量稳定性，要求流量控制器具有高稳定性，减少压力波动影响；
2、无漏气：要求流量控制器内置的比例调节阀流量为零时，要处于常闭状态，阀门不漏气，无流量；
3、抗污染能力：配气仪介质用到腐蚀性气体，造成流量控制器流道易堵塞，堵塞与流道管径的粗细直接相关；
4、抗过载能力：配气仪控制气体从低流量点切换到高流量点时，受到瞬间大流量冲击，抗过载能力弱会直接影响流量控制器的使用寿命。
解决方案：
1、高稳定性：易度流量控制器内置高精度压力、温度传感器,可进行温度、压力的实时补偿，700ms的快速响应时间，快速纠正、保持气体控制的流速恒定，提供稳定的气体流量控制；
2、无漏气：易度流量控制器内置的比例调节阀系自主研发，结构紧凑，密封性好，不漏气，无流量；
3、抗污染能力强：易度流量控制器气体流道为单通道设计，流道管径相对较粗，不易受到气体的污染，造成堵塞；
4、抗过载能力高：易度流量控制器内置的压差传感器，可承受50倍及以上的过载流量，抗过载能力强，解决配气仪低流量段瞬间过载问题。
