多组分混合标准气体是环保行业实现监测设备多点标定的重要工具，以质量流量控制器为配气部件的动态校准仪(或动态气体稀释装置等)，利用高浓度标气和零气，通过对各气路气体流量的精确控制，实现多浓度点气体的连续、稳定配制，并以低成本、智能检测、自动配气、不受使用环境温度和压力影响等优势被广泛应用。

流量控制器在动态配气仪中起着重要作用。稳定、高重复的标气和零气精准流量控制，可提升动态校准仪高精度、连续、稳定输出浓度。

—— 客户应用背景 ——

作为动态校准仪的知名研发生产商，对流量控制器的现场表现有多方面的实际需求。气体流量控制器的重复性和可靠性、微小的漏气、不同温度压力下的精度保持能力等问题，最终会对客户造成不同程度的困扰。提高动态校准仪的精度和稳定性，减少最终用户的长期使用和维护成本，成为发展和技术进步的方向。

—— 关键关注点 ——

动态校准仪简化原理框图（自制图片，不代表真实原理结构）

• 高重复性的配气

• 对温度和压力漂移，环境适应性好

• 对前端压力波动不敏感

• 宽量程精度保持能力（例如20%~100%或10%~100%量程范围内达到±1%S.P.）

• 高可靠，长期精度不漂移，控制稳定性好

• 要求对低浓度的NH3/SO2/CO等气体有较好的抗污染能力

—— 解决方案 ——

提高动态校准仪连续稳定的输出浓度，易度提供了MCF100系列层流压差式质量流量控制器作为标准配气元件，选用阀门后置型产品，可监测前端气体压力，并选取了几种不同的量程，典型气体流量为100SCCM和10SLPM的质量流量控制器，精度为±1.0% S.P.。

• 内置的比例调节阀和流量传感器具有高分辨率和稳定性

• 内置的绝压和温度传感器，具有-20~50℃，0~1MPa的宽环境适应性

• 层流压差式流量控制器具有极快的反馈控制速度，对前端压力不敏感

• 层流压差式流量控制器具有宽量程精度保持能力的原理性优势

• 层流压差式原理，高性能压力、压差传感器和比例阀门是长期可靠性的基石

• 自研的压力和压差传感器对低浓度腐蚀性气体不敏感，有较好的抗污染能力

• 易度流量控制器采用层流压差式原理，在气体流量控制的精度和重复性上有明显的优势，100:1的量程比（可定制更高量程比），在小流量段也能实现毫秒级快速控制。比例调节阀在设计中充分考虑密封性和内漏问题，将客户的关键关注点完美解决，帮助客户将动态配气仪提升到更高品质和更优性能。

—— 推荐产品 ——

MCF100系列

• 流量范围： 0.1SCCM~5000SLPM

• 精度：±1.0%S.P.

• 重复性：±0.2%F.S.

• 通讯方式：RS485(Modbus RTU）

关于易度

陕西易度智能科技有限公司专注于研发高端制造业过程工艺中的流体微流量控制核心器件，形成以层流元件、精密比例调节阀、压差传感器和软件算法为核心的高精度层流质量流量计和控制器等产品，为半导体、生物制药、新材料、新能源、环保等高端制造业提供高精度微流量测控核心部件和解决方案。