最小流量：0.01SCCM 最大流量：5000SLPM
E系列气体层流质量流量计是M系列的升级款，体积更小，性能更强，特有的层流压差技术，配合高精度压力、温度传感器实现的补偿，及独创核心算法，使得产品具有高精度、高重复性、低零点、温度、压力漂移量的特点，模拟信号和数字信号的通讯方式，适用于配套过程控制的客户。
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型 号 |
E100 |
E200 |
E300 |
E400 |
E450 |
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流量规格 |
20SCCM～500SLPM |
10SCCM～500SLPM |
0.5SCCM～5000SLPM |
2SCCM～2000SLPM |
2SCCM～2000SLPM |
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性能参数 |
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准 确 度 |
E100：±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) E200：±1.0%Rd(30%～±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%～30%F.S.) E300：±1.0%Rd(20%～100%F.S.) ±0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.) E400：±1.0%Rd(10%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～10%F.S.) E450：±0.5%Rd(20%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
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重复精度 |
E100、E200：±0.2%F.S. E300：±0.2%Rd(20%～100%F.S.) ±0.04%F.S.(0.5%～20%F.S.) E400、E500：±0.1%Rd(20%～100%F.S.) ±0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
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| 压力漂移 |
E100、E200:≤±0.1%F.S./100kPa（基准压力100kPaA) E300、E400、E450:≤±0.1%Rd/100kPa（基准压力100kPaA)
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温度漂移 |
E100、E200:≤±0.05%F.S./℃（基准温度25℃） E300、E400、E450:≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃） |
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工作范围 |
E100：2%～100%F.S. E200：1%～100%F.S. E300、E400、E450：0.5%～100%F.S. |
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响应时间 |
≤100ms |
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启动预热时间 |
≤1s |
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使用条件 |
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介质温度范围 |
E100、E200：0℃～50℃ E300、E400、E450：-20℃～50℃ |
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| 环境温度范围 |
E100、E200：0℃～50℃ E300、E400、E450：-20℃～50℃ |
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使用湿度范围 |
0%～98%（无冷凝） |
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| 满量程压损 |
10kPa（≤5SLPM）；60kPa（10SLPM）；8kPa（20~50SLPM）；10kPa（100SLPM）；15kPa（200SLPM）；
19kPa（500SLPM）；23kPa（1000SLPM）；22kPa（1500~2500SLPM）；35kPa（3000~5000SLPM） |
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耐 压 |
1.5MPa |
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最大工作压力 |
E100、E200：650KpaA E300、E400、E450：900KpaA |
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供电电压 |
24V±20% |
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消耗电流 |
< 150mA（＜3.6W） |
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安装方式 |
无指定（任意角度） |
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接气部材质 |
SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene |
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输出方式 |
RS485、PROFIBUS、EtherCAT，PROFINET，DeviceNet、4～20mA / 0～5V |
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