匹配科学工作者的质量流量计
能放在掌心的流量校准装置
高品质配套过程测量的质量流量计
稳定的工业设备集成质量流量计
适用大多数实验室的标准型流量控制器
高品质配套过程控制的质量流量控制器
稳定的工业设备集成质量流量控制器
最小流量:10 SCCM 最大流量:500 SLPM
E200气体层流质量流量计与在原有的M100系列做了产品的升级,通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及独创核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。同时,内置多种气体和混气设置,数字式和模拟式的通讯方式,实现流量的精确测量。
E200A 通用型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200B 经济型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200C 耐腐蚀型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200D 半导体型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200E 半导体耐腐蚀型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
E200F 抗吸附型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM
流量型检漏设备配套
用于内部会计目的的气体分配系统中的气体消耗测量
快速密封性测试
食品、化工等行业的气体流量监控