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EC400系列
±1%设定值精度，支持多种数字通讯方式

最小流量：2SCCM     最大流量：2000SLPM

EC400系列气体层流质量流量控制器与SC100标准型气体层流质量流量控制器的区别在于没有触摸式显示屏，通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及独创核心算法，在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。坚固的金属外壳，使产品在工业复杂环境下确保耐用性和强抗电磁干扰性能。内置多种气体和混气设置，数字式和模拟式的通讯方式，实现流量的精确测量和控制。

特征
  • 原理
    层流压差式
    流量控制器
    层流压差式流量控制器
  • 精度
    ±1.0%
    设定值精度
    ±1.0%设定值精度
  • 高重复性
    ±0.1%
    F.S.
    ±0.1%F.S.
  • 宽温度、压力适用范围
    -20℃~60℃、900KpA
    以内
    -20℃~60℃、900KpA以内
  • 可选模拟信号、数字信号
    (0~5)V、RS485
    传输方式方式
    (0~5)V、RS485传输方式方式
  • 提供
    上位机软件
    实时显示和下载数据信息
    上位机软件实时显示和下载数据信息
使用条件
兼容内置
70+种气体和可编辑的混合气体
Compatible
工作流量范围
0.5%~100%F.S.
Working flow range
安装方式
无指定（任意角度）
Installation method
消耗电流
＜300mA (＜7.2W)
Current consumption
供电电压
24V±20%
Supply voltage
耐压
1.5Mpa
Withstand voltage
最大工作压力
900KpaA
Working pressure
使用湿度
0% ~98%（无冷凝）
Operating humidity
环境温度
-20℃~50℃
Ambient temperature
介质温度
-20℃~60℃
Medium temperature
资源 5
资源 5
规格型号
EC400A 通用型

EC400A 通用型  |  2 SCCM ~ 2000 SLPM

应用领域
镀膜设备

溅射镀膜设备中的流控器件

光伏设备

光伏行业集成设备中的流控器件

热喷涂设备

热喷涂过程的流量控制

资源 5
资源 5
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