最小流量：0.1SCCM 最大流量：5000SLPM
EC系列层流质量流量控制器与SC系列层流质量流量控制器的区别在于没有触摸式显示屏，基于压力式的层流压差技术，不受制于来流状态的影响，配合高精度压力、温度传感器实现精确压力、温度补偿，使得产品在较宽的温度、压力范围内迅速达到流量设定值，保障了测量的精度和控制的稳定性。模拟信号和数字信号的通讯方式，适用于配套过程控制的客户。
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型 号 |
EC100 |
EC200 |
EC300 |
EC400 |
EC500 |
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流量规格 |
20SCCM~500SLPM |
5SCCM~500SLPM |
0.5SCCM~5000SLPM |
2SCCM~2000SLPM |
2SCCM~2000SLPM |
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阀门种类 |
N/C（常闭型） |
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性能指标 |
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准 确 度 |
EC100：±1.0%S.P.(2%～100%F.S.) EC200：±1.0%S.P.(30%～100%F.S.) ±1.0%F.S.(1%～30%F.S.) EC300：±1.0%S.P.(20%～100%F.S.) ±0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.) EC400：±1.0%S.P.(10%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～10%F.S.) EC450：±0.5%S.P.(20%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
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重复精度 |
EC100、EC200：±0.2%F.S. EC300：±0.2%Rd（20%~100%F.S.） ±0.04%F.S.（0.5%~20%F.S.） EC400、EC450：±0.1%Rd（20%~100%F.S.） ±0.02%F.S.（0.5%~20%F.S.） |
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| 压力漂移 |
EC100、EC200：≤±0.1%F.S./100kPa（基准100kPaA) EC300、EC400、EC450：≤±0.1%Rd/100kPa（基准100kPaA) |
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温度漂移 |
EC100、EC200：≤±0.05%F.S./℃（基准25℃) EC300、EC400、EC450：≤±0.02%F.S./℃（基准25℃) |
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工作范围 |
EC100：2%～100%F.S. EC200：1%～100%F.S. EC300、EC400、EC450：0.5%～100%F.S. |
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响应时间 |
EC100、EC200：≤700ms EC300、EC400、EC450：≤600ms |
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启动预热时间 |
≤1s |
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使用条件 |
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介质温度范围 |
EC100、EC200：0℃～50℃ EC300、EC400、EC450：-20℃～60℃ |
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| 环境温度范围 |
EC100、EC200：0℃～50℃ EC300、EC400、EC450：-20℃～50℃ |
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使用湿度范围 |
0%～98%（无冷凝） |
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| 工作压差范围 |
50kPa～700kPa（≤5SLPM）；100kPa～700kPa（10SLPM）；50kPa～700kPa（20SLPM）；200kPa～700kPa（30~1000SLPM）； 400kPa～700kPa（1500~2000SLPM）；450kPa～700kPa（3000~5000SLPM） |
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耐 压 |
1.5MPa |
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最大工作压力 |
EC100、EC200：650KpaA EC300、EC400、EC450：900KpaA |
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供电电压 |
24V±20% |
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消耗电流 |
< 300mA（＜7.2W） |
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安装方式 |
无指定（任意角度） |
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接气部材质 |
SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene |
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密封部材质 |
橡胶圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene |
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通信方式 |
RS485 、PROFIBUS、EtherCAT，PROFINET，DeviceNet、4～20mA / 0～5V |
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